[交流] ITO靶材表面变黑 已有3人参与

去年开始做ITO溅射工艺，靶材表面是银白色。靶材一直放在腔体中没有取出，过完年回来发现靶材表面变成了黑色，是什么原因造成的？这个靶材还能用吗？ [ Last edited by elijah李晓航 on 2016-3-10 at 14:00 ]

回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

• 过年走亲戚时感受到了所开私家车的鄙视链 已经有5人回复
• 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 已经有4人回复
• 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 已经有3人回复
• 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 已经有3人回复
• 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 已经有3人回复
• 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 已经有5人回复
• 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 已经有4人回复
• 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 已经有5人回复
• 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 已经有5人回复
• 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 已经有4人回复

高级回复