[交流] ITO靶材表面变黑 已有3人参与

去年开始做ITO溅射工艺，靶材表面是银白色。靶材一直放在腔体中没有取出，过完年回来发现靶材表面变成了黑色，是什么原因造成的？这个靶材还能用吗？ [ Last edited by elijah李晓航 on 2016-3-10 at 14:00 ]

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薄膜制备与特性

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