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ITO靶材表面变黑已有3人参与
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去年开始做ITO溅射工艺，靶材表面是银白色。靶材一直放在腔体中没有取出，过完年回来发现靶材表面变成了黑色，是什么原因造成的？这个靶材还能用吗？ [ Last edited by elijah李晓航 on 2016-3-10 at 14:00 ] |
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 薄膜制备与特性 |
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