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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » ITO靶材表面变黑
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elijah李晓航

新虫 (初入文坛)

[交流] ITO靶材表面变黑 已有3人参与

去年开始做ITO溅射工艺，靶材表面是银白色。靶材一直放在腔体中没有取出，过完年回来发现靶材表面变成了黑色，是什么原因造成的？这个靶材还能用吗？

ITO靶材表面变黑

[ Last edited by elijah李晓航 on 2016-3-10 at 14:00 ]
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1楼 2016-03-10 13:59:01
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瑞舞轻扬

木虫 (正式写手)
★
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用的磁控溅射吗？

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2楼2016-03-10 14:11:21
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elijah李晓航

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 瑞舞轻扬 at 2016-03-10 14:11:21
用的磁控溅射吗？

对，用磁控溅射

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3楼2016-03-11 08:44:46
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瑞舞轻扬

木虫 (正式写手)
★
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正常，靶材表面氧化，清理一下还能用

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4楼2016-03-11 11:28:37
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朱高

金虫 (小有名气)
商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
★
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可以用啊，表面清理一下
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5楼2016-03-14 08:24:11
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samuel_lee

银虫 (初入文坛)
★
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靶材毒化了，是一直在真空环境中吗？
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为了未来而尽力而为
6楼2016-03-22 14:53:55
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