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磁控溅射二氧化硅和四氟化碳会不会产生有毒气体？
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突然查到四氟化硅是毒性物质，溅射都变成原子团， 那是不是会发生反应，产生二氧化碳和四氟化硅都是气体？这样的话就是有毒了啊！ 另外很多金属氟化物都是有毒的，这样金属氧化物和四氟化碳共溅射也会这样？求助解答，谢谢大家了！ 求破零回复！ |
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