| 查看: 1217 | 回复: 0 | ||
[求助]
磁控溅射二氧化硅和四氟化碳会不会产生有毒气体?
|
|
突然查到四氟化硅是毒性物质,溅射都变成原子团, 那是不是会发生反应,产生二氧化碳和四氟化硅都是气体?这样的话就是有毒了啊! 另外很多金属氟化物都是有毒的,这样金属氧化物和四氟化碳共溅射也会这样?求助解答,谢谢大家了! 求破零回复! |
» 猜你喜欢
求助一篇MEMS散热器件文献
已经有0人回复
材化专业SCI论文(职称评定)
已经有0人回复
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有220人回复
材料化学专业SCI论文(职称评定)
已经有0人回复










回复此楼