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guotao019新虫 (著名写手)
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求助大神：N型SiC欧姆接触测试问题已有2人参与
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N外延片上离子注入形成N型和P型4H-SiC，目标浓度为3*10^20 cm-3，深度300nm，箱型分布；做的欧姆接触，用圆形传输线法测试，N型的拟合效果都特别差，得出的比接触值也不对，但P型的拟合的都很好。 求大神告知原因？ ps: 退火温度为1000℃/3min RTA，N和P退火温度一样。退火后形貌也不错。 版图：左边圆环内径均为150um,外径步长为10um增大。右边圆环内径均为100um,外径步长为10um增大。  N型.png  p型.png  版图.png@yswyx |
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无机化学论文润色/翻译怎么收费?
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22楼2016-03-24 20:10:47
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23楼2016-03-30 00:16:57
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