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dubaosheng

金虫 (正式写手)

[交流] 磁控溅射

有懂磁控溅射的高手吗，辉光正常为什么si基底长不上knn膜？

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薄膜材料和器件制备

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呵呵
1楼 2016-03-06 21:08:01
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liailong

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
磁控溅射膜的生长原理也是传统的岛状生长原理，因此可能有这样几个原因：（1）附着性太差，导致不能基地上成核（2）高能粒子将Si刻蚀，可能是K+,Na+刻蚀Si，而不是在上面生长。建议更换基地材料如石英片，或者在Si上先生长一层其它材料如TiO2将其保护再生长KNN。
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自强不息，厚德载物！
2楼2016-03-06 21:19:15
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dubaosheng

金虫 (正式写手)
基片已经换过石英的了，功率和气压也调过，不怎么管用，试试缓冲层吧

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呵呵
3楼2016-03-06 21:22:45
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爱哭的小孩

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你是用的哪个型号的磁控溅射？

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4楼2016-03-07 12:55:30
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aaron5235

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
先离近一些。可能由于靶中毒导致的。沉积速率很慢。
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人生在世，俯仰之间，唯有追求卓越，但求尽其所能
5楼2016-03-10 15:15:44
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