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dubaosheng

金虫 (正式写手)

[交流] 磁控溅射

有懂磁控溅射的高手吗,辉光正常为什么si基底长不上knn膜?

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呵呵
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liailong

铁杆木虫 (著名写手)


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磁控溅射膜的生长原理也是传统的岛状生长原理,因此可能有这样几个原因:(1)附着性太差,导致不能基地上成核(2)高能粒子将Si刻蚀,可能是K+,Na+刻蚀Si,而不是在上面生长。建议更换基地材料如石英片,或者在Si上先生长一层其它材料如TiO2将其保护再生长KNN。
自强不息,厚德载物!
2楼2016-03-06 21:19:15
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dubaosheng

金虫 (正式写手)

基片已经换过石英的了,功率和气压也调过,不怎么管用,试试缓冲层吧

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呵呵
3楼2016-03-06 21:22:45
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爱哭的小孩

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你是用的哪个型号的磁控溅射?

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4楼2016-03-07 12:55:30
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aaron5235

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
先离近一些。可能由于靶中毒导致的。沉积速率很慢。
人生在世,俯仰之间,唯有追求卓越,但求尽其所能
5楼2016-03-10 15:15:44
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