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learnwthink铜虫 (小有名气)
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用万用表测薄膜电阻镀不镀上电极有区别吗？
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我做了一批薄膜样品，Si衬底上是薄膜，然后两边镀上TiW电极（电极覆盖部分薄膜）。这样用万用表探针直接搭在俩电极上测得的电阻很小，但是探针搭在中间薄膜上的话，测出电阻很大。 这是不是说明探针与薄膜直接接触，接触电阻很大？但是四探针测电阻率中探针也是直接接触薄膜啊？！！不解 本人科研新手，求各位测试经验丰富的大神解释一下，不胜感激~ |
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