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miraclebelie

金虫 (正式写手)

[交流] 【请教】用3:1的H2SO4/H2O2能否除去硅片上的氧化层

请教,用3:1的H2SO4/H2O2能否除去硅片上的氧化层
一般硅片自然形成的氧化层有多厚啊?
除去后放在空气中多长时间又能生成氧化层?

各位大虾帮帮忙,谢啦
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topgun1118

银虫 (小有名气)

下载查过了,链接没有问题
文件比较大,不太好发哦
换个时间试试,速度还是不错哦的
4楼2008-10-18 08:45:42
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liuwei2004

至尊木虫 (著名写手)



miraclebelie(金币+1,VIP+0):谢谢,那清洗后的硅片在空气中放多长时间又会生成氧化层?
我们用过硫酸和HF除去硅片上的氧化层 ,比例好像也是3:1,你可以都试一下。
2楼2008-10-14 10:51:48
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topgun1118

银虫 (小有名气)


miraclebelie(金币+1,VIP+0):你有这本书的pdf么,能否发给我,我下不了,我的邮箱gaoyan8533@gmail.com
3楼2008-10-14 11:26:48
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