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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 成型与控制 » 大家讨论一下磁控溅射长金属膜用单晶靶材的优点
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physictang

新虫 (正式写手)

[交流] 大家讨论一下磁控溅射长金属膜用单晶靶材的优点

磁控溅射用单晶靶材，有什么好处，长的膜比用多晶靶材更好、晶粒更大吗？退火后对晶粒有什么影响

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1楼 2016-03-04 01:17:56
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evitadl

银虫 (小有名气)
★
physictang(金币+1): 谢谢参与
单晶靶材除了纯度可能高于多晶外，没有其它好处的。影响薄膜结晶质量的主要因素一是温度，二是杂质含量(包括靶杂质和残余气体)。一己之见，仅供参考。

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17楼2016-03-04 09:14:03
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billie1133楼
2016-03-04 02:20   回复  
physictang(金币+1): 谢谢参与
祝福 发自小木虫IOS客户端
liusmlw7楼
2016-03-04 06:44   回复  
physictang(金币+1): 谢谢参与
好 发自小木虫IOS客户端
心无所向10楼
2016-03-04 07:48   回复  
physictang(金币+1): 谢谢参与
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