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大家讨论一下磁控溅射长金属膜用单晶靶材的优点
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physictang
新虫
(正式写手)
应助: 0
(幼儿园)
金币: 1711.2
帖子: 989
在线: 161.9小时
虫号: 3718903
[交流]
大家讨论一下磁控溅射长金属膜用单晶靶材的优点
磁控溅射用单晶靶材,有什么好处,长的膜比用多晶靶材更好、晶粒更大吗?退火后对晶粒有什么影响
发自小木虫IOS客户端
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1楼
2016-03-04 01:17:56
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evitadl
银虫
(小有名气)
应助: 0
(幼儿园)
金币: 549.8
帖子: 68
在线: 20.7小时
虫号: 928387
★
physictang(金币+1): 谢谢参与
单晶靶材除了纯度可能高于多晶外,没有其它好处的。影响薄膜结晶质量的主要因素一是温度,二是杂质含量(包括靶杂质和残余气体)。一己之见,仅供参考。
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17楼
2016-03-04 09:14:03
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billie113
3楼
2016-03-04 02:20
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physictang(金币+1): 谢谢参与
祝福
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liusmlw
7楼
2016-03-04 06:44
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physictang(金币+1): 谢谢参与
好
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心无所向
10楼
2016-03-04 07:48
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physictang(金币+1): 谢谢参与
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