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[交流]
大家讨论一下磁控溅射长金属膜用单晶靶材的优点
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磁控溅射用单晶靶材，有什么好处，长的膜比用多晶靶材更好、晶粒更大吗？退火后对晶粒有什么影响 发自小木虫IOS客户端 |
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 薄膜制备与特性 |
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physictang(金币+1): 谢谢参与
physictang(金币+1): 谢谢参与
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单晶靶材除了纯度可能高于多晶外，没有其它好处的。影响薄膜结晶质量的主要因素一是温度，二是杂质含量(包括靶杂质和残余气体)。一己之见，仅供参考。 发自小木虫Android客户端 |
17楼2016-03-04 09:14:03
简单回复
2016-03-04 02:20
回复
physictang(金币+1): 谢谢参与
祝福 发自小木虫IOS客户端
liusmlw7楼
2016-03-04 06:44
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physictang(金币+1): 谢谢参与
好 发自小木虫IOS客户端
心无所向10楼
2016-03-04 07:48
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