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工藤新二

银虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 332.3
帖子: 18
在线: 7.7小时
虫号: 3202590

[交流] 与集成电路有关的问题

作为集成新手一直有一个困惑为什么在制作晶棒时并不加入离子，而是在制作晶盘时通过离子轰击的方式加入？

发自小木虫IOS客户端

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1楼2016-03-02 17:01:56

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jinwencao

木虫 (正式写手)

应助: 4 (幼儿园)
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帖子: 526
在线: 360.7小时
虫号: 2488623

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

应该是因为，离子注入的深度有限。晶棒如果从轴向注入，则注入均匀度很差，切出来的晶圆品质不一，况且固定能量的离子只的注入深度是固定的。径向注入，也会是有不均匀的问题。所以，对每个晶圆注入离子，才能保证注入效果均匀一致。不了解晶棒是什么样的，冒昧回答，交流一下

发自小木虫Android客户端

20楼2017-10-24 01:29:45

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