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工藤新二

银虫 (初入文坛)

[交流] 与集成电路有关的问题

作为集成新手一直有一个困惑为什么在制作晶棒时并不加入离子，而是在制作晶盘时通过离子轰击的方式加入？

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1楼 2016-03-02 17:01:56
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hedaos

新虫 (著名写手)
★
工藤新二(金币+1): 谢谢参与
支持一下^_^
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7楼2016-03-02 18:18:46
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lucong1111

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
真空调剂下注入要求离子纯度高。片面积大，效率高

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17楼2016-03-03 03:18:22
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工藤新二

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
17楼: Originally posted by lucong1111 at 2016-03-03 03:18:22
真空调剂下注入要求离子纯度高。片面积大，效率高

谢谢

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18楼2016-03-03 08:09:49
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liyu.edu

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这是工艺，后者过程，浓度可控。

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19楼2017-10-16 12:50:29
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jinwencao

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
应该是因为，离子注入的深度有限。晶棒如果从轴向注入，则注入均匀度很差，切出来的晶圆品质不一，况且固定能量的离子只的注入深度是固定的。径向注入，也会是有不均匀的问题。所以，对每个晶圆注入离子，才能保证注入效果均匀一致。不了解晶棒是什么样的，冒昧回答，交流一下

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20楼2017-10-24 01:29:45
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jixiangbao2楼
2016-03-02 17:31   回复  
工藤新二(金币+1): 谢谢参与
tan9143楼
2016-03-02 17:33   回复  
工藤新二(金币+1): 谢谢参与
star_zhang4楼
2016-03-02 18:00   回复  
工藤新二(金币+1): 谢谢参与
祝福
nono20095楼
2016-03-02 18:14   回复  
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baiyang3136楼
2016-03-02 18:16   回复  
工藤新二(金币+1): 谢谢参与
fenshuz8楼
2016-03-02 18:19   回复  
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祝福
renqingyao9楼
2016-03-02 18:20   回复  
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祝福
chunxik10楼
2016-03-02 18:21   回复  
工藤新二(金币+1): 谢谢参与
hongyingwu11楼
2016-03-02 18:24   回复  
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syhorchid12楼
2016-03-02 18:26   回复  
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zhenwuhuang13楼
2016-03-02 18:27   回复  
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chenyangl14楼
2016-03-02 18:29   回复  
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tudiank15楼
2016-03-02 18:29   回复  
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jiuguop16楼
2016-03-02 18:30   回复  
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皮皮琵琶21楼
2019-01-13 12:04   回复  
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