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[交流]
与集成电路有关的问题
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作为集成新手一直有一个困惑为什么在制作晶棒时并不加入离子,而是在制作晶盘时通过离子轰击的方式加入? 发自小木虫IOS客户端 |
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7楼2016-03-02 18:18:46
17楼2016-03-03 03:18:22
18楼2016-03-03 08:09:49
19楼2017-10-16 12:50:29
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应该是因为,离子注入的深度有限。晶棒如果从轴向注入,则注入均匀度很差,切出来的晶圆品质不一,况且固定能量的离子只的注入深度是固定的。径向注入,也会是有不均匀的问题。所以,对每个晶圆注入离子,才能保证注入效果均匀一致。不了解晶棒是什么样的,冒昧回答,交流一下 发自小木虫Android客户端 |
20楼2017-10-24 01:29:45
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2016-03-02 17:31
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工藤新二(金币+1): 谢谢参与
tan9143楼
2016-03-02 17:33
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2016-03-02 18:00
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nono20095楼
2016-03-02 18:14
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fenshuz8楼
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chunxik10楼
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皮皮琵琶21楼
2019-01-13 12:04
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