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champione

银虫 (小有名气)

[交流] 【请教】测量薄膜硬度对基材厚度要求

急!!!!!!!
测量薄膜硬度(HV)对基材厚度要求多少啊,如何计算?
谢谢

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-10-13 at 12:11 ]
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ifand

银虫 (小有名气)

你的膜有多厚?

看文献很多薄膜是用纳米压痕仪测量
载荷只有几mN
3楼2008-10-13 20:55:56
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champione

银虫 (小有名气)

再详细点,我想用维氏硬度仪,25g力测量溅射镀剥膜硬度,为了避免基材对薄膜硬度的影响,基材厚度范围在多少合适?
2楼2008-10-13 12:17:36
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champione

银虫 (小有名气)

我也知道用纳米压痕仪,但是我们买的是维氏硬度计啊!没办法
有没有人知道啊?
4楼2008-10-14 10:45:37
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lwjonly

金虫 (正式写手)


champione(金币+1,VIP+0):我也知道远大于就没问题,但是要知道具体是如何计算出来的
在涂层硬度测试过程中,加载力较大时,压痕尺寸较大,压痕下的塑性变形区域会扩展到基体材料中,从而影响测量结果,减小压痕尺寸又会导致测量结果的相对误差较大。在压痕的深度为薄膜厚度的1/5以内时,所得的硬度值才能完全反应涂层的硬度。

基体厚度远大于涂层厚度即可。
5楼2008-10-14 12:02:01
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