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champione

银虫 (小有名气)

[交流] 【请教】测量薄膜硬度对基材厚度要求

急!!!!!!!
测量薄膜硬度(HV)对基材厚度要求多少啊,如何计算?
谢谢

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-10-13 at 12:11 ]
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1楼 2008-10-13 11:39:41
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champione

银虫 (小有名气)
再详细点,我想用维氏硬度仪,25g力测量溅射镀剥膜硬度,为了避免基材对薄膜硬度的影响,基材厚度范围在多少合适?
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2楼2008-10-13 12:17:36
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ifand

银虫 (小有名气)
你的膜有多厚？

看文献很多薄膜是用纳米压痕仪测量
载荷只有几mN
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3楼2008-10-13 20:55:56
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champione

银虫 (小有名气)
我也知道用纳米压痕仪,但是我们买的是维氏硬度计啊!没办法
有没有人知道啊?
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4楼2008-10-14 10:45:37
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lwjonly

金虫 (正式写手)
★
champione(金币+1,VIP+0):我也知道远大于就没问题,但是要知道具体是如何计算出来的
在涂层硬度测试过程中，加载力较大时，压痕尺寸较大，压痕下的塑性变形区域会扩展到基体材料中，从而影响测量结果，减小压痕尺寸又会导致测量结果的相对误差较大。在压痕的深度为薄膜厚度的1/5以内时，所得的硬度值才能完全反应涂层的硬度。

基体厚度远大于涂层厚度即可。
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5楼2008-10-14 12:02:01
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champione

银虫 (小有名气)
那有一个成本问题,以及后面计算薄膜硬度也需要引入基体硬度,所以我想知道最小基体尺寸为多少?如何计算出来的?
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6楼2008-10-14 15:21:10
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cxm377

银虫 (正式写手)
现在认为四点弯曲法较精准 4-point Bend
虽然复杂要一定的计算 膜厚在小于或等于0.13um就行 对于基体厚度这种方法好像没多大要求
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洗洗睡吧
7楼2008-11-06 17:02:12
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