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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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明光

木虫 (著名写手)

[交流] half-pitch resolution是什么意思? 已有1人参与

不搞光刻。half-pitch resolution是什么意思,关键是half-pitch

谢谢
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yestogether

金虫 (小有名气)

★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
zhangwj(金币+1): thanks 2011-12-30 12:14:51
金光闪闪2010(金币+1): 不错的答案 2011-12-30 13:15:24
半节距分辨率。就是指周期图案结构的半节距宽度。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]

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晚安。
2楼2011-12-30 00:01:46
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明光

木虫 (著名写手)

送鲜花一朵
лл
心平气和,谦虚谨慎,创新上进!
3楼2011-12-30 12:13:27
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明光

木虫 (著名写手)

送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by yestogether at 2011-12-30 00:01:46:
半节距分辨率。就是指周期图案结构的半节距宽度。
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]

4楼2011-12-30 12:15:52
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