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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » half-pitch resolution是什么意思？
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明光

木虫 (著名写手)

[交流] half-pitch resolution是什么意思？ 已有1人参与

不搞光刻。half-pitch resolution是什么意思，关键是half-pitch

谢谢
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明光

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心平气和，谦虚谨慎，创新上进！
1楼 2011-12-29 20:21:51
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明光

木虫 (著名写手)
送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by yestogether at 2011-12-30 00:01:46:
半节距分辨率。就是指周期图案结构的半节距宽度。
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]

4楼2011-12-30 12:15:52
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yestogether

金虫 (小有名气)
★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
zhangwj(金币+1): thanks 2011-12-30 12:14:51
金光闪闪2010(金币+1): 不错的答案 2011-12-30 13:15:24
半节距分辨率。就是指周期图案结构的半节距宽度。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下(3人) 回复此楼

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明光
晚安。
2楼2011-12-30 00:01:46
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