| 查看: 2676 | 回复: 3 | ||
[求助]
分子泵与前级泵的抽速匹配问题已有1人参与
|
|
实验室MBE分子泵已经损坏2次，老板叫我们来找找问题看看是由于我们自己的操作失误造成的还是由于MBE系统设计造成的。所以来这里请教下大家，是什么原因导致我们MBE分子泵出现故障。 1.所用分子泵为Agilent Navigator V1001（抽速为1000 L/s）。前级泵配的是SH-110（抽速为1.5 L/s）。请问大家这样匹配么？之前有老师说前级泵的抽速不够大，但是MBE工作时内部气体只有1 Sccm左右，这样的话1.5 L/s的前级泵绰绰有余。麻烦问下大家，这么解释合理不？ 2.我们一般在腔体压力达到5*10E-1 Torr然后开启分子泵。这么操作的话前级压力对于分子泵来说是不是高了点？还是说影响不大，可以接受？ 3.MBE工作时，没有通液氮，对于分子泵寿命有影响么？如果有，是不是造成其很快就损坏的主要原因？ 4.MBE开腔次数过多（比如半个月内10次）是否会对分子泵的寿命造成很大影响？ 谢谢大家！ |
回复此楼» 猜你喜欢
三无产品还有机会吗
已经有4人回复
-
投稿返修后收到这样的回复，还有希望吗
已经有7人回复
-
压汞仪和BET测气凝胶孔隙率
已经有4人回复
-
博士申请都是内定的吗？
已经有14人回复
-
谈谈两天一夜的“延安行”
已经有13人回复
-
氨基封端PDMS和HDI反应快速固化
已经有11人回复
-
之前让一硕士生水了7个发明专利，现在这7个获批发明专利的维护费可从哪儿支出哈？
已经有11人回复
-
论文投稿求助
已经有4人回复
-
Applied Surface Science 这个期刊。有哪位虫友投过的能把word模板发给我参考一下嘛
已经有3人回复
-
投稿精细化工
已经有6人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 做一下好事吧，南京航空航天大学资助清单，我没中，郁闷！
已经有11人回复
- 磁控溅射分子泵升不上转问题
已经有7人回复
- 【求助】阿尔卡特和瓦里安真空泵哪个好
已经有6人回复
- 【资源】液相色谱常见问题及处理方法
已经有43人回复
lelelbom
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 215 (大学生)
- 贵宾: 0.088
- 金币: 6466.3
- 散金: 785
- 红花: 25
- 帖子: 1300
- 在线: 234.3小时
- 虫号: 208258
- 注册: 2006-03-05
- 性别: GG
- 专业: 聚合物共混与复合材料
2楼2013-10-17 12:34:13
3楼2013-10-20 17:56:10
4楼2018-03-29 14:21:30