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李小坤

木虫 (著名写手)

[交流] 石英表面的怎样GaN清除

使用氢化物气相外延技术生长GaN,但是石英管壁上也沉积了很多GaN,即使使用高温氢气也很难清除,哪位大神告知一下怎样清除更干净?

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