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材料综合 石英表面的怎样GaN清除
使用氢化物气相外延技术生长GaN,但是石英管壁上也沉积了很多GaN,即使使用高温氢气也很难清除,哪位大神告知一下怎样清除更干净?
李小坤 2023-08-24 06:07