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qnxk8882

新虫 (小有名气)


[交流] 离子注入、高精度晶圆减薄、化学机械抛光、超硬材料碳化硅刻蚀

离子注入
•        50-400kev注入能量
•        2,3,4,6,8 inch晶圆尺寸

高精度晶圆减薄
•        ttv<1 um
•        4,6,8 inch晶圆尺寸
•        材料包括不限于:硅,钽酸锂,铌酸锂

化学机械抛光
•        表面粗糙度<0.5nm
•        4,6,8 inch晶圆尺寸
•        材料包括不限于:硅,氧化硅,钽酸锂,铌酸锂

超硬材料刻蚀
材料包括但不限于:碳化硅,钽酸锂,铌酸锂

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qnxk8882

新虫 (小有名气)


硅薄膜,铌酸锂薄膜刻蚀代工

发自小木虫Android客户端
5楼2023-06-10 18:42:34
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