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akatsukiU至尊木虫 (著名写手)
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电子束蒸发镀金工艺请教已有3人参与
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请教一下各位镀膜大佬，现在用电子束蒸发镀金电极，镀完发现基片上的PMMA胶已经全部熔化，金完全剥离不下来，有什么方法解决吗？ 相关参数：蒸发电流270mA，背底真空1*10^-4 Pa，蒸发真空度3*10^-3 Pa，速率1 A/s。（速率不高，但似乎蒸发电流有点大，可能造成基片温升过高，不知道这样解释正不正确） 非常感谢！@yswyx |
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xiangan315
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akatsukiU
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4楼2021-05-13 10:52:39
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