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磁控溅射 Cu Al 求助已有1人参与
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磁控溅射镀铝和铜时，出现了一个问题，辉光的时候，靶材发红。 本底真空6×10-4Pa，工作压强 2.1Pa，氩气流速：5.3 原先的时候，铜和铝都好使，铜发绿光，铝发紫光。 现在不知道怎么回事，全都变红了，镀膜质量非常差。 诸位哥哥姐姐，有没有知道解决办法的，拜谢了！ |
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 磁控溅射镀膜工艺 |
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理工小伟
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