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【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
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南极土著111

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射 Cu Al 求助已有1人参与

磁控溅射镀铝和铜时，出现了一个问题，辉光的时候，靶材发红。

本底真空6×10-4Pa，工作压强 2.1Pa，氩气流速：5.3

原先的时候，铜和铝都好使，铜发绿光，铝发紫光。

现在不知道怎么回事，全都变红了，镀膜质量非常差。

诸位哥哥姐姐，有没有知道解决办法的，拜谢了！
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磁控溅射镀膜工艺

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1楼2018-12-13 16:05:46
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
南极土著111: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2018-12-15 11:42:21
一般靶面辉光偏红，肯定是内部气氛不对了，或者漏气或者漏水。
但是你的本地真空进入-4了就很难解释。你沉积结束后立即关闭特气，观察真空度，如果真空比沉积之前好，那么是正常的，如果变差就能说明问题。

另，电压偏高很可能是靶材表面形成氧化物或氮化物了，你可以开腔门看看靶材表面状态。

由于不在现场，很多细节你需要多留意才好排除解决。
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
4楼2018-12-14 15:33:34
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南边的海

金虫 (著名写手)
大家帮你解决问题后，希望你也把最后的结果分享一下，毕竟有好多人可能也会遇到吧，不要有问题就来，以后就没信了。

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13楼2019-04-22 17:38:42
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普通回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
压强降低到0.5pa试试
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
2楼2018-12-13 16:25:48
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南极土著111

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-12-13 16:25:48
压强降低到0.5pa试试

还是不行。

还有一个情况，电压大。

加在靶材的电压，正常的情况下，电流0.4A，电压大概在300V

现在的情况下，电流同样为0.4A，电压升到了450V

拜托您给分析分析，拜谢
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3楼2018-12-14 14:29:05
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理工小伟

木虫 (著名写手)
建议溅射之前先进行预溅射去除表面氧化层；同样条件电压变化过大可能与气压有关

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精于勤 荒于嬉
5楼2018-12-16 13:09:30
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perry_ping

新虫 (著名写手)
真空再抽高一些，真空度还是低
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6楼2018-12-17 10:47:17
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/ypfypf

新虫 (初入文坛)
看看是否是气体不纯的原因

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7楼2018-12-17 15:41:00
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sciencetechn

新虫 (小有名气)
①检查真空度，是否达到真空要求。②检查靶材表面是否有氧化膜。③通入气体是否纯净。
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专业研发高纯磁控溅射靶材蒸发镀膜材料：15210523788（微信），金源新材
8楼2018-12-20 11:15:00
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骑蚂蚁

新虫 (初入文坛)
镀铝 是想镀铝膜还是氧化铝呢？如果铝膜的话你的真空度还需要再低，不然会被氧化的。
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9楼2019-01-08 11:11:00
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at2046

铜虫 (初入文坛)
可能是气路漏气造成的。

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10楼2019-01-14 10:07:43
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