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fsxpz

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风吹水裤

铜虫 (小有名气)


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6楼: Originally posted by 东北小胖猪 at 2018-11-29 12:27:20
哦,你们也是用这个型号啊,我们现在用的话有一个问题想请教一下,就是我们要用等离子清洗做氧化铝陶瓷基板和芯片键合的试验时,后面两条通气管你们会通入什么气体,气体流量、调节功率和清洗时间的工艺参数要怎么设 ...

你可以通入氩气,最好不要通入氧气,因为污染物就是空气氧化物,气体流量大概在60ml/min,功率可以设置120w,清洗时间480秒左右,但是具体情况要还要具体分析,你可以在功率,气体流量,清洗时间三个因素之间设计个实验,固定某一个因素,最后通过比较它们键合拉力增长率来确定具体设置参数。
7楼2018-12-03 12:18:30
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风吹水裤

铜虫 (小有名气)


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等离子清洗机实话说技术含量不是很高,就是一个高压电源发射射频,在低压环境下产生等离子,harrick和国产我都用过,可以说一下,其实原理都是一样的,国产因为这几年才开始做,在使用便利性方面有优势,比如我们买的国产的,可以触摸屏控制,双路气体接入,还贴上简易操作说明,实验室不管谁来用,一看就懂得操作,我们做PDMS处理的,进口和国产效果没啥区别。
2楼2018-11-12 14:05:09
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fsxpz

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3楼2018-11-12 14:42:20
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3楼: Originally posted by fsxpz at 2018-11-12 14:42:20
谢谢前辈,太感谢了,请问你们用的品牌是什么,大概的价格方便告知吗?...

我们用善准仪器的VP-Q5,具体价格忘记了,应该五万左右吧。
4楼2018-11-13 09:21:30
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