harrick plasma和国产等离子清洗机的区别，怎么选 - 材料综合 - 综合资源

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等离子清洗机实话说技术含量不是很高，就是一个高压电源发射射频，在低压环境下产生等离子，harrick和国产我都用过，可以说一下，其实原理都是一样的，国产因为这几年才开始做，在使用便利性方面有优势，比如我们买的国产的，可以触摸屏控制，双路气体接入，还贴上简易操作说明，实验室不管谁来用，一看就懂得操作，我们做PDMS处理的，进口和国产效果没啥区别。

2楼2018-11-12 14:05:09

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3楼: Originally posted by fsxpz at 2018-11-12 14:42:20
谢谢前辈，太感谢了，请问你们用的品牌是什么，大概的价格方便告知吗？...

我们用善准仪器的VP-Q5，具体价格忘记了，应该五万左右吧。

4楼2018-11-13 09:21:30

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6楼: Originally posted by 东北小胖猪 at 2018-11-29 12:27:20
哦，你们也是用这个型号啊，我们现在用的话有一个问题想请教一下，就是我们要用等离子清洗做氧化铝陶瓷基板和芯片键合的试验时，后面两条通气管你们会通入什么气体，气体流量、调节功率和清洗时间的工艺参数要怎么设 ...

你可以通入氩气，最好不要通入氧气，因为污染物就是空气氧化物，气体流量大概在60ml／min，功率可以设置120w，清洗时间480秒左右，但是具体情况要还要具体分析，你可以在功率，气体流量，清洗时间三个因素之间设计个实验，固定某一个因素，最后通过比较它们键合拉力增长率来确定具体设置参数。

7楼2018-12-03 12:18:30

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9楼: Originally posted by 小木小草 at 2019-03-20 10:20:12
请问一下我用善准VP-S5清洗玻璃基片亲水性和金属氧化物粉末都没问题，但清洗油污却不行，玻璃基片没有通气体，金属氧化物粉末通的是氩气，油污清洗是不是要通其他气体，还是这个型号清洗不了，有谁知道是什么原因吗 ...

清洗油污要用高频等离子，不是通气体的问题，我看了一下他们网站的参数，S5是低频的，肯定是清洗不了油污的，清洗油污应该用Q系列吧，可以和善准联系一下，问他们比较准确。

10楼2019-03-22 11:42:15