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知夏爱夏天

金虫 (小有名气)

[求助] 生长200 nm的Mg薄膜是否可行?

目前有个任务是要在一个东西上面生长200 nm的金属Mg薄膜,方法是溅射,问题在于:Mg不是很容易氧化吗,然后生长的氧化物也很疏松,溅射以后腔里的Mg颗粒也比较危险,温度一高容易燃烧,所以想请问,溅射这个Mg膜是不是可行的 ,或者有没有其他方法可以生长200nm的膜呢?
科研小白,初次提问,请多多指教? 问的问题可能不专业,也请担待和包含。

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知夏爱夏天

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wonderfulll at 2018-09-21 18:06:43
电化学还原沉积在电极表面是否可行,你的“一个东西”是不是导电的啊

目前这边的设备只有溅射的机器,用于微电子工艺的,没有化学方面的,像您说的那种。材料看起来也不导电,长在了硅片上。

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3楼2018-09-21 18:57:36
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