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【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
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伊纱

铜虫 (小有名气)

[求助] 硅片 Si 氢氧化钾 KOH 湿法刻蚀已有1人参与

做KOH刻蚀硅表面，前两次做出现致密的四面体结构，第三次做的时候表面的四面体很稀疏，有的间距达到几十微米。而且表面有点亮亮的，反光，有时候看起来有点疏水
但我用的是同样的参数，温度  80，KOH，2.5wt%；IPA，4vt%。反应过程中烧杯上面有个盖子，但还是有缝。
目前重复了几组，还是不行，看到文献说与IPA浓度有关，刚刚做了一组没有加IPA的，反应完更亮了，像没反应一样。硅片拿来就是丙酮和乙醇清洗后吹干的。
我现在也找不到原因了，希望有经验的虫友给些建议  万分感谢
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1楼2018-05-31 18:15:57
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花梨小学生

新虫 (初入文坛)
你好，我导师建议我用KOH和IPA刻蚀玻璃，请问您这个配方（KOH，2.5wt%；IPA，4vt%）是什么意思呀？是2.5wt%的KOH和4vt%的IPA按照1:1或是某个比例混合配在一起吗？求答疑
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7楼2018-12-09 22:45:28
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xuzhixiao

铁杆木虫 (著名写手)

Science, Technology and Art
四面体结构是指扫描电镜下能看到金字塔形貌吗

发自小木虫IOS客户端
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”五爱青年“：爱科技，爱音乐，爱IT，爱阅读，爱健身
2楼2018-06-01 10:56:43
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伊纱

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by xuzhixiao at 2018-06-01 10:56:43
四面体结构是指扫描电镜下能看到金字塔形貌吗

对，第一次做SEM看是金字塔结构，后来死活没有了，用的同样的条件
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3楼2018-06-01 15:39:42
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伊纱

铜虫 (小有名气)
不要沉啊
有时候反应完背面有结构，抛光面反而没有
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4楼2018-06-02 03:19:37
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