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1529701999木虫 (正式写手)
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光刻剥离掉电极
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各位万能的虫友们，我想咨询一下，光刻反胶的时候，光刻曝光时间不足会导致剥离的时候掉电极么？我感觉我显影后的电极可以了，但是蒸镀完电极后发现电极都掉了。还是与电极的厚度有关？感谢各位虫友的帮助 微信图片_20180125112230.png |
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2楼2018-01-26 13:24:59
3楼2018-01-26 16:35:19
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这个可以做个对比的实验来验证一下，第一，怀疑是金属和si表面粘附性差，用一个dummy wafer表面不做光阻图形，直接去镀金属，看是不是会peeling，如果peeling，你就要改变金属电极，比如在镍镀之前镀一层钛，这个是硅工艺里面常用的电极的做法；第二，如果怀疑是光阻残留，有几种方法可以考虑，可以加大全曝光flood exposure的能量，让曝光更加充分；可以在显影之后打descum也就是氧等离子体扫底膜或者叫灰华处理打残胶。 发自小木虫Android客户端 |
9楼2018-07-07 10:53:19
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4楼2018-01-27 15:00:42
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10楼2018-09-25 09:14:47
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