24小时热门版块排行榜     先丰纳米 买纳米材料就点这里

查看: 300  |  回复: 6
【悬赏金币】回答本帖问题,作者1529701999将赠送您 10 个金币

1529701999

木虫 (正式写手)

[求助] 光刻剥离掉电极

各位万能的虫友们,我想咨询一下,光刻反胶的时候,光刻曝光时间不足会导致剥离的时候掉电极么?我感觉我显影后的电极可以了,但是蒸镀完电极后发现电极都掉了。还是与电极的厚度有关?感谢各位虫友的帮助

光刻剥离掉电极
微信图片_20180125112230.png
回复此楼
不忘初心,方得始终
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liyangntu

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
wolfghost: 金币+2, 奖励快速应助~ 2018-01-27 15:09:31
问题里面的流程说的不是很清楚啊。

电极在光刻之前已经就有,光刻之后发现电极剥离?还是光刻之后,在显影区域渡电极,然后发现电极剥落?这是两个不同的状况。

可能性最大的还是有残胶没有去除干净。
2楼2018-01-26 13:24:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ranqc

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
wolfghost: 金币+2, 奖励快速应助~ 2018-01-27 15:09:40
1.基底材料是什么;  2.蒸镀的是什么金属,因为比如Au就和一些材料接触不好 ,上面需要先镀几个纳米的Cr来增强结合力;  3.使用什么方法剥离的,丙酮?
重庆烯成石墨烯科技有限公司,具有SEM、XRD、AFM、CVD、磁控溅射、磁场测试系统、电子束镀膜、激光光刻系统、原子层沉积、等离子刻蚀、拉曼、微孔物理吸附仪、四
3楼2018-01-26 16:35:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

1529701999

木虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by ranqc at 2018-01-26 16:35:19
1.基底材料是什么;  2.蒸镀的是什么金属,因为比如Au就和一些材料接触不好 ,上面需要先镀几个纳米的Cr来增强结合力;  3.使用什么方法剥离的,丙酮?

基底材料是P型硅,镀的是镍铁,用丙酮剥离的,请问您方便留个联系方式交流一下么?镀铬增强粘合力,但是他具有磁性,会影响我的测试
不忘初心,方得始终
4楼2018-01-27 15:00:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

1529701999

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by liyangntu at 2018-01-26 13:24:59
问题里面的流程说的不是很清楚啊。

电极在光刻之前已经就有,光刻之后发现电极剥离?还是光刻之后,在显影区域渡电极,然后发现电极剥落?这是两个不同的状况。

可能性最大的还是有残胶没有去除干净。

我已经用刻蚀机进行表面残胶处理了,但是是不是还是光刻条件不对呢?
不忘初心,方得始终
5楼2018-01-27 15:01:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ranqc

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by 1529701999 at 2018-01-27 15:00:42
基底材料是P型硅,镀的是镍铁,用丙酮剥离的,请问您方便留个联系方式交流一下么?镀铬增强粘合力,但是他具有磁性,会影响我的测试...

我的QQ,185507368,可以互相学习一下
重庆烯成石墨烯科技有限公司,具有SEM、XRD、AFM、CVD、磁控溅射、磁场测试系统、电子束镀膜、激光光刻系统、原子层沉积、等离子刻蚀、拉曼、微孔物理吸附仪、四
6楼2018-01-29 11:41:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liyangntu

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by 1529701999 at 2018-01-27 15:01:27
我已经用刻蚀机进行表面残胶处理了,但是是不是还是光刻条件不对呢?...

表面残胶处理也不见得去除的干净,况且这个残胶处理也是有很多条件参数可以调节的。

建议在显影之后,用O2的plasma表面去残胶,可以加大一点功率以及用更长一些的时间。
这个残胶去除损失光刻胶厚度大概也就一两百纳米,不影响lift-off。

残胶往往显微镜看不出来,能看出彩虹状反射环的,那种残胶,厚度都是接近微米级别了。而几个纳米的残胶是看不到的。
7楼2018-01-30 15:38:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 1529701999 的主题更新
不应助 确定回帖应助 (注意:应助才可能被奖励,但不允许灌水,必须填写15个字符以上)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[论文投稿] 攒人品!论文全中吧! +26 慧子果儿 2018-05-25 33/1650 2018-05-26 23:15 by 逝水无痕1990
[公派出国] 等待18CSC公派优秀本科生录取结果 +8 Ceci爱吃肉 2018-05-25 17/850 2018-05-26 23:01 by 季鹰归未
[论文投稿] 怎么做误差线 +5 门外汉2018 2018-05-26 8/400 2018-05-26 18:16 by 门外汉2018
[考博] 香港申请博士求助 +5 刘伊尔儿 2018-05-26 7/350 2018-05-26 17:12 by huangzhenjia
[基金申请] 2018年的青基出来了吗 20+5 tianyajq 2018-05-22 23/1150 2018-05-26 14:32 by simingjia
[论文投稿] 有关化妆品检测的文章投哪个期刊好 +5 侯侯houhou 2018-05-24 7/350 2018-05-26 14:11 by 童编辑
[基金申请] 有没有人打听到今年自然基金函评结果的? +13 bhwy 2018-05-26 13/650 2018-05-26 12:03 by fallenrain
[硕博家园] 研究生女,材料专业,工作方向 +11 晨曦.. 2018-05-25 19/950 2018-05-26 10:52 by 德升正极
[考博] 工科女硕士 毕业两年 考博靠不靠谱 +18 搬砖搬砖 2018-05-21 23/1150 2018-05-25 11:49 by wanghaogea
[环境] 污水流量 (金币+1) +10 水青石 2018-05-22 14/700 2018-05-25 10:04 by 水青石
[海外博后] Postdoc in Experimental Macro/Micro/Nanomechanics- Khalifa University +5 kliao 2018-05-22 6/300 2018-05-24 22:34 by 黑色粉笔
[文学芳草园] 矫情终归是幼稚的 +3 汪汪锅 2018-05-23 5/250 2018-05-24 20:24 by 小学生来看看
[公派出国] 今年申请去悉尼联合培养 有一起的吗?求抱团啊 +4 hermmoon 2018-05-22 4/200 2018-05-24 12:55 by Zhaoluodi
[高分子] 溶剂去除 +5 qyl4545 2018-05-24 5/250 2018-05-24 11:47 by 奎奎11
[考博] 政审表 +8 寡人不称王 2018-05-23 12/600 2018-05-24 08:49 by wanghaogea
[考博] 在职读博太难了! +7 littlepig2 2018-05-23 7/350 2018-05-23 12:11 by xuanning1987
[论文投稿] TOC修改格式 太小了 +4 onelovely 2018-05-21 20/1000 2018-05-22 21:53 by shijie6356
[考研] 能源与动力工程考研 +4 必上985 2018-05-22 5/250 2018-05-22 18:15 by 19考研必胜
[分析] 红外吸收光谱测试 +3 901200 2018-05-21 12/600 2018-05-22 10:54 by xuyuanzhuzhu
[硕博家园] 菌浓度的测定 +3 lrj木木 2018-05-20 3/150 2018-05-20 19:05 by boggart
信息提示
请填处理意见