[求助] 光刻剥离掉电极

3楼: Originally posted by ranqc at 2018-01-26 16:35:19
1.基底材料是什么；  2.蒸镀的是什么金属，因为比如Au就和一些材料接触不好 ，上面需要先镀几个纳米的Cr来增强结合力；  3.使用什么方法剥离的，丙酮？

2楼: Originally posted by liyangntu at 2018-01-26 13:24:59
问题里面的流程说的不是很清楚啊。

电极在光刻之前已经就有，光刻之后发现电极剥离？还是光刻之后，在显影区域渡电极，然后发现电极剥落？这是两个不同的状况。

可能性最大的还是有残胶没有去除干净。