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wangqy1291

[交流] 【求助】硅晶片表面羟基

请教各位高手:请问硅晶片上是否有羟基,如果没有怎么处理使其产生羟基?

[ Last edited by 大笨猪和聪明羊 on 2008-10-11 at 11:42 ]
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夜骐

铜虫 (初入文坛)


wangqy1291(金币+1,VIP+0):请问:H2O2:H2SO4=1:3(体积比) 80度,煮一小时危险吗?
H2O2:H2SO4=1:3(体积比) 80度,煮一小时.
或H2O2:NH3.H20:H2O=1:1:5 80度,煮一小时
生如夏花之绚烂 死如秋叶之静美
3楼2008-10-11 15:03:35
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jaeho5282

银虫 (小有名气)

我只知道用H2O2/H2SO4标准溶液清洗或者用O2 PLASMA时候硅表面会有羟基,表现出很强的亲水性。期待高人解答,有没有什么SAM方法
2楼2008-10-11 12:45:21
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zhangwj

荣誉版主 (职业作家)

小木虫无限续航核潜艇


wdwsnnu(金币+1,VIP+0)::-),谢谢讨论
一般的硅片表面都有很薄的氧化层,所以可能是有羟基的。在2%氢氟酸里面浸泡一下几分钟,然后滴一滴水在上面,如果水滴成球型并很容易滚落,就可以了。
谢谢支持材料区@小木虫论坛
4楼2008-10-11 17:24:33
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miraclebelie

金虫 (正式写手)


大笨猪和聪明羊(金币+1,VIP+0):欢迎参与讨论^_^
引用回帖:
Originally posted by zhangwj at 2008-10-11 17:24:
一般的硅片表面都有很薄的氧化层,所以可能是有羟基的。在2%氢氟酸里面浸泡一下几分钟,然后滴一滴水在上面,如果水滴成球型并很容易滚落,就可以了。

水滴成球形并且容易滚落,疏水的表面才会这样吧?
亲水的话应该是滴水后滑的就铺展开了吧
5楼2008-10-11 19:45:09
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