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木虫 (小有名气)

[求助] 小弟求助----XPS结果如何分析?

小弟最近做了一次XPS检测,材料为GaN薄膜,打算确定其中元素的含量,检测数据如下图所示;
有几个问题:1.图中数据该如何分析,结论该取决于哪一组数据?    2.下面一组为拟合过后的数据,两个GaLMM代表什么含义,该如何分析?
                     3. Ar+溅射会导致GaN还原,这样还能否做深度剖析?
求高人不吝赐教,小弟感激不尽

小弟求助----XPS结果如何分析?
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