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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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PLD-NJUST

新虫 (初入文坛)

[交流] CVD气相沉积法设备搭建 已有4人参与

实验室想构建CVD气相沉积设备,目前只有管式炉一台(合肥科晶产),想请问下还需要哪些部件才能搭建起来?如何使用?
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涅槃重生的

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
惰性气体罐,应该有那种多温区的
4楼2016-02-25 20:30:50
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查看全部 7 个回答

鹰羽龙

木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
没搭过,至少还要个精密流量计和真空泵吧
2楼2016-02-24 16:51:58
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chenyant

金虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
基本的按楼上说的就可以。除非另外特殊要求。

发自小木虫Android客户端
3楼2016-02-24 18:04:39
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PLD-NJUST

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 鹰羽龙 at 2016-02-24 16:51:58
没搭过,至少还要个精密流量计和真空泵吧

问了好多人,基本上还需要真空泵、流量计和气体钢瓶等
5楼2016-02-26 16:12:27
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