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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 电化学 » 化学电源 » CVD气相沉积法设备搭建
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PLD-NJUST

新虫 (初入文坛)

[交流] CVD气相沉积法设备搭建 已有4人参与

实验室想构建CVD气相沉积设备，目前只有管式炉一台（合肥科晶产），想请问下还需要哪些部件才能搭建起来？如何使用？
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1楼 2016-02-24 15:39:56
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涅槃重生的

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
惰性气体罐，应该有那种多温区的
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4楼2016-02-25 20:30:50
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鹰羽龙

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
没搭过，至少还要个精密流量计和真空泵吧
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2楼2016-02-24 16:51:58
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chenyant

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
基本的按楼上说的就可以。除非另外特殊要求。

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3楼2016-02-24 18:04:39
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PLD-NJUST

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 鹰羽龙 at 2016-02-24 16:51:58
没搭过，至少还要个精密流量计和真空泵吧

问了好多人，基本上还需要真空泵、流量计和气体钢瓶等
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5楼2016-02-26 16:12:27
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