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lwb870525木虫 (著名写手)
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[求助]
关于反应离子刻蚀RIE的一个疑问
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书中的描述: 带负电的电子质量轻,先到达基板表面。。。。 带正电的离子沿着电场方向向阴极运动。。。 疑问之处:上电极为阳极且接地,下电极为阴极且基板放在下电极上。电场方向是阳极指向阴极,电子和带正电的离子,从电场的角度来说应该是向着两个不同的电极运动才是,这段话里却说,电子和带正电的离子,都向下电极(基板)的方向运动。是书中的这段话描述有误还是我哪里理解有误? 敬请大神不吝赐教! |
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