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lwb870525木虫 (著名写手)
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关于反应离子刻蚀RIE的一个疑问
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书中的描述： 带负电的电子质量轻，先到达基板表面。。。。 带正电的离子沿着电场方向向阴极运动。。。 疑问之处：上电极为阳极且接地，下电极为阴极且基板放在下电极上。电场方向是阳极指向阴极，电子和带正电的离子，从电场的角度来说应该是向着两个不同的电极运动才是，这段话里却说，电子和带正电的离子，都向下电极（基板）的方向运动。是书中的这段话描述有误还是我哪里理解有误？ 敬请大神不吝赐教！ |
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