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lwb870525

木虫 (著名写手)

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性别: GG
专业: 半导体材料

[求助] 关于反应离子刻蚀RIE的一个疑问

书中的描述：带负电的电子质量轻，先到达基板表面。。。。带正电的离子沿着电场方向向阴极运动。。。

疑问之处：上电极为阳极且接地，下电极为阴极且基板放在下电极上。电场方向是阳极指向阴极，电子和带正电的离子，从电场的角度来说应该是向着两个不同的电极运动才是，这段话里却说，电子和带正电的离子，都向下电极（基板）的方向运动。是书中的这段话描述有误还是我哪里理解有误？
敬请大神不吝赐教！

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人一旦过于认真，结果往往注定是悲剧；玩世不恭，有时候或许是喜剧，最多也就是部闹剧。喜剧皆大欢喜，闹剧一笑而过，悲剧却是一生的痛，赢得了社会，却输了自己

1楼 2016-02-24 05:03:24

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