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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 就液相沉积法制备二氧化钛薄膜开裂问题讨论
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金虫 (小有名气)

[交流] 就液相沉积法制备二氧化钛薄膜开裂问题讨论

为什么二氧化钛薄膜会开裂，有没有虫友也在研究这个问题？
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1楼 2016-02-23 13:43:15
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1048127893

金虫 (小有名气)
利用此方法来制备二氧化钛薄膜要遵循一定的步骤，主要包括“吸附”和“脱水沉积”两部分，在脱水过程中存在一些问题，制备的薄
膜厚度大于某一个范围（225-295）的时候，会产生裂纹。
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2楼2016-02-23 13:44:52
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