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金虫 (小有名气)

[交流] 就液相沉积法制备二氧化钛薄膜开裂问题讨论

为什么二氧化钛薄膜会开裂,有没有虫友也在研究这个问题?
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金虫 (小有名气)

利用此方法来制备二氧化钛薄膜要遵循一定的步骤,主要包括“吸附”和“脱水沉积”两部分,在脱水过程中存在一些问题,制备的薄
膜厚度大于某一个范围(225-295)的时候,会产生裂纹。
2楼2016-02-23 13:44:52
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