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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 硅片衬底上的PS聚苯乙烯小球如何彻底去除呢？甲苯的话该如何使用？请大家指教
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GKY1989

银虫 (正式写手)

[求助] 硅片衬底上的PS聚苯乙烯小球如何彻底去除呢？甲苯的话该如何使用？请大家指教 已有2人参与

如题！！！！
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勇敢战胜自己的惰性，FIGHTING!
1楼 2016-02-04 11:18:19
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jianhuahan7

木虫 (正式写手)
闫老师搞这个老专业了，你可以问问他，或烧或泡

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2楼2016-02-05 00:19:09
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dyx4366

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用四氢呋喃浸泡一段时间，万恶的十五字！！！
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3楼2016-02-05 11:56:08
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功夫小鸡

金虫 (初入文坛)
文献上有说甲苯，或四氢呋喃煮的，有说用胶带的。我开始用溅射，然后泡了一晚上，稍微超一下就好了，但后来用蒸发的方法镀膜，再泡就不行了。
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略略略
4楼2016-02-12 22:18:02
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jiayaru

新虫 (小有名气)
我看方法基本就是煅烧或者在四氢呋喃里面 浸泡，你有做出来吗？我最近也在做，想问一下用量的问题
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越努力，越幸运
5楼2016-09-06 10:10:11
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cherub382

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

四氢呋喃超声，然后打一下O2 plasma
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6楼2016-09-12 10:26:59
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leafsummer

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by jiayaru at 2016-09-06 10:10:11
我看方法基本就是煅烧或者在四氢呋喃里面 浸泡，你有做出来吗？我最近也在做，想问一下用量的问题

请问你ps清洗干净了吗

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7楼2017-10-12 15:09:03
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jiayaru

新虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by leafsummer at 2017-10-12 15:09:03
请问你ps清洗干净了吗
...

我感觉还是煅烧比较靠谱，因为四氢呋喃的话，会有高分子残留。并且，你的ps球如果是交联过的，四氢呋喃应该不起作用的。希望对你有帮助
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越努力，越幸运
8楼2017-10-14 13:49:03
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leafsummer

新虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by jiayaru at 2017-10-14 13:49:03
我感觉还是煅烧比较靠谱，因为四氢呋喃的话，会有高分子残留。并且，你的ps球如果是交联过的，四氢呋喃应该不起作用的。希望对你有帮助...

请问你有煅烧的相关文献吗

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9楼2017-11-01 15:34:21
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