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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 信息科学 » 电子科学 » 想退火，样品上有光刻胶掩膜，请问正光刻胶的最大承受温度是多少？
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王艳丰11

新虫 (初入文坛)

[求助] 想退火，样品上有光刻胶掩膜，请问正光刻胶的最大承受温度是多少？ 已有1人参与

想退火，样品上有光刻胶掩膜，请问正光刻胶的最大承受温度是多少？

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1楼 2016-02-01 11:11:07
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feixiaolin

荣誉版主 (文坛精英)

优秀版主
光刻胶两种：热固(化)，光固(化)。
估计够呛。
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2楼2016-02-02 14:15:40
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zlh95222

木虫 (著名写手)
不要超过180℃。

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3楼2016-02-08 23:02:52
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王艳丰11

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zlh95222 at 2016-02-08 23:02:52
不要超过180℃。

ok

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4楼2016-02-09 00:20:07
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匿名

用户注销 (初入文坛)
本帖仅楼主可见
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5楼2021-09-08 14:31:52
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