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TEM样品制备.pdf
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要想得到好的TEM结果，首先要制备出好的薄膜样品， TEM样品制备在电子显微学研究中起着非常重要的作用。 传统的常规制备方法很多，例如：化学减薄、电解双喷、 解理、超薄切片、粉碎研磨、聚焦离子束、机械减薄、离子减 薄，这些方法都能制备出较好的薄膜样品。 目前新材料的发展日新月异，给样品制备提出了更高的要 求。样品制备的发展方向应该是制备时间更短，电子穿透面积 更大，薄区的厚度更薄，高度局域减薄。 TEM样品类型 块状：用于普通微结构研究 平面：用于薄膜和表面附近微结构研究 横截面样品：均匀薄膜和界面的微结构研究 小块物体：粉末，纤维，纳米量级的材料 TEM样品制备.pdf |
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