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新虫 (初入文坛)

[求助] 真空管式炉(CVD)露气,我该怎么检查呢?我现在用负压长Ga... 已有2人参与

真空管式炉(CVD)露气,我该怎么检查呢?我现在用负压长GaN,求大神帮忙

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wulishi8

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
一般用乙醇或者丙酮抽气检查,到处滴一滴,然后观察真空度变化。。。假如突然变化,那就是刚刚滴的地方漏气。
中山大学材料学院招聘博士后和专职研究员,年薪20万起,请站内联系,谢谢。
2楼2016-01-30 00:06:39
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long200706

至尊木虫 (著名写手)

CVD一般都用专门的简漏仪可以用。具体问问你们实验室的师兄就行。你长GaN膜的?

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我的未来我做主
3楼2016-01-30 08:42:27
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long200706

至尊木虫 (著名写手)

还有更直接的笨办法。具体你可以私信我。

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我的未来我做主
4楼2016-01-30 08:46:15
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18236922602

新虫 (初入文坛)

5楼2016-01-30 19:27:12
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18236922602

新虫 (初入文坛)

6楼2016-01-30 19:27:46
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宋艳鹏

新虫 (初入文坛)

内容已删除
7楼2016-02-02 23:22:25
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18236922602

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by long200706 at 2016-01-30 08:42:27
CVD一般都用专门的简漏仪可以用。具体问问你们实验室的师兄就行。你长GaN膜的?

是的

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8楼2016-02-04 17:15:27
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willyion6688

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

关闭进气口,关闭钢瓶出气口。通过两段的密封。可以都检测漏气问题。很好用的,亲测
peoplewillalwaysfollowtheheartmuchmorereadilythantheywillfolloworders
9楼2016-02-14 11:44:24
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