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【请教】有用过Nextral D200 PECVD的兄弟姐妹
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为什么我用这个老家伙时，把RF的power调到20W，气压为170mTorr长SiN时，为什么它一开始好好的run，但是不到2分钟或3分钟，他就不行了，那个reflected power就变得很高，到了20W了，tune和load都乱了。 是不是这种机器的RF不能够长时间工作，最多只能工作1到2分钟啊？这个老家伙已经有11岁了。 [ Last edited by dlwang on 2008-10-9 at 20:56 ] |
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