| 查看: 148 | 回复: 0 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
[交流]
【请教】有用过Nextral D200 PECVD的兄弟姐妹
|
|||
|
为什么我用这个老家伙时，把RF的power调到20W，气压为170mTorr长SiN时，为什么它一开始好好的run，但是不到2分钟或3分钟，他就不行了，那个reflected power就变得很高，到了20W了，tune和load都乱了。 是不是这种机器的RF不能够长时间工作，最多只能工作1到2分钟啊？这个老家伙已经有11岁了。 [ Last edited by dlwang on 2008-10-9 at 20:56 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
基金申报
已经有6人回复
-
存款400万可以在学校里躺平吗
已经有6人回复
-
推荐一本书
已经有13人回复
-
拟解决的关键科学问题还要不要写
已经有5人回复
-
基金委咋了？2026年的指南还没有出来？
已经有9人回复
-
国自然申请面上模板最新2026版出了吗？
已经有17人回复
-
纳米粒子粒径的测量
已经有8人回复
-
疑惑？
已经有5人回复
-
计算机、0854电子信息（085401-058412）调剂
已经有5人回复
-
Materials Today Chemistry审稿周期
已经有5人回复