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如何计算电子显微镜中电子束的大小以及电子束和样品的interactive volume
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| 电子束大小是决定电子电子显微镜（SEM,TEM)分辨率的重要因素之一，然而电子束的大小与电子枪的类型（LaB6， FEG etc), 聚光镜光栅 （condenser aperture) 大小，磁透镜的象散 。。。。最近在SEM和TEM中做了EBSD，然后同一个样品得到的形貌有差异，所以想从空间分辨率上来解释，可是找不到具体的计算公式。不知道大神们能否提供一个简易且比较合理的计算公式啊。 |
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