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[求助]
SU-8光刻出现怪异形貌
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今天做SU-8，原本要做的是一个个圆孔，但是做出来后居然出现下图这种形貌，在圆孔中间还有一层截断，不知道这是什么原因导致的？特来求助，谢谢！ PS：本人做SU-8也很久了，只是这次做的厚度不一样，在摸条件，正常的做，第一次遇到这种奇怪的形貌，整个片子上都是，不解啊。。。  50S-15_e.png |
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