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Hall测试薄膜是p型,衬底是n型,能不能测出p型层的载流子浓度、迁移率等信号?
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| 做Hall测试的时候,外延的薄膜是p型,衬底是n型,hall测出来的结果是不是p型层的信号?下面的n型层会不会对它有影响呢?之前上课的时候老师讲过四探针的衬底一定要绝缘或者是反型层,不知道对hall是不是也适用。如果有影响,这种情况还能用什么办法测出上面p型层的电学性能?求助大牛给一个官方的解释~ |
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