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非晶碳化硅薄膜拉曼光谱
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我们给购买的玻璃基底非晶碳化硅薄膜做了拉曼光谱，发现背底信号特别高，把待测信号都掩盖了，想了解一下，这是因为非晶碳化硅薄膜本身就是这样？或者是说薄膜制备工艺的影响？还是因为非晶碳化硅在玻璃透明基底才会这样（我们买的是磁控溅射单靶高纯碳化硅方法制备的）？如果在SiO2/Si基底上会出现这种状况么？有人有经验么… 发自小木虫Android客户端 |
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 薄膜制备与特性 |
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6楼2016-01-15 13:49:04
2楼2016-01-14 23:45:28
SCU_magiclee
铁杆木虫 (正式写手)
硅材料研发人员
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3楼2016-01-15 00:04:45
4楼2016-01-15 08:02:56