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alphaxgm

新虫 (小有名气)

[交流] 微纳尺度槽道的加热元件都有哪些选择?已有4人参与

各位前辈的微纳尺度加热都怎么实现的?用什么元件或设备?请指教!谢谢

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苏州MEMS

禁虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★
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红舟流星: 金币-5, 应助指数-1, 屏蔽内容, 违规存档, 请勿留私人信息 2016-01-26 16:46:28
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2楼2016-01-14 10:25:51
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alphaxgm

新虫 (小有名气)

送红花一朵
3楼2016-01-14 13:07:27
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
微纳尺度的加热,自己在槽里集成铂电极
4楼2016-01-14 13:43:36
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wp_20328

金虫 (正式写手)

5楼2016-01-14 13:54:30
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alphaxgm

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by reninhat at 2016-01-14 13:43:36
微纳尺度的加热,自己在槽里集成铂电极

微槽道是委托加工的。电极应该可以自己随后加入吧?只是如何保证加热效果方面和常规尺寸的处理方式有什么不同吗?谢谢

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6楼2016-01-14 14:52:06
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by alphaxgm at 2016-01-14 14:52:06
微槽道是委托加工的。电极应该可以自己随后加入吧?只是如何保证加热效果方面和常规尺寸的处理方式有什么不同吗?谢谢
...

不可以,电极都是和槽道一起加工的。
7楼2016-01-15 16:59:07
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