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求助CHEMKIN！！！ 已有1人参与
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| 用CHEMKIN做硅烷分解的机理简化，旋转CVD反应器，载气为氦气和氢气（参与主要气相反应），两种条件下计算出来的产物浓度和沉积速率几乎完全相同，也就是说氢气氛围下，多余的氢气并没有参与反应，这不符合化学动力学，请问是什么原因导致的，是机理编错了还是case设置的问题？后来对H2 的third body efficiencies 进行了定义，但是计算出来结果差别不大，求大神解答！！！！！ |
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2楼2017-10-11 11:02:54