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SiO2 CMP问题 已有1人参与
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| 我现在在4寸片上利用PECVD的方法生长SiO2薄膜，请问哪里可以做SiO2薄膜的抛光吗，要求抛光后的表面粗糙度小于10A。或者哪里可以做CVD生长于抛光代加工的吗？ |
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红舟流星: 金币-5, 应助指数-1, 屏蔽内容, 违规存档, 请勿留私人信息 2016-01-26 16:45:53
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红舟流星: 金币-5, 应助指数-1, 屏蔽内容, 违规存档, 请勿留私人信息 2016-01-26 16:45:53
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2楼2016-01-13 10:54:59