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wyy889

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[求助] 我想问一下需要设置哪些参数

我在做ALD镀膜过程的仿真就是模拟一种气体通入真空腔过程中固定位置表面的浓度变化我想问下一般需要设置哪些参数

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1楼 2016-01-11 13:50:46

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