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[求助]
phi扫描不懂，会分析的达人请进！
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在衬底长了一些尖尖的结构，有点儿像雨后春笋的那种尖尖的，尖端一共指向5个方向，有垂直于衬底的一个方向，其余四个方向很像乱箭斜斜的插入靶子。老板给我找了一个人帮我搞了一个phi扫描，他帮我扫了90度，扫360度他说浪费时间。扫了（002）和（100）两个方向。 就想知道：1. phi扫描结果图里的那个峰值最高点对应的角度，代表什么意思。 2.从图里能不能知道那些尖尖的结构，哪个是沿着（002）生长，哪个是沿着（100）生长的。 高手受累帮忙解答一下。 喷子们就不用回答了，时间有限，我没时间进一步研究phi扫描。 |
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