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19911201

金虫 (初入文坛)

[求助] 氮化硅薄膜基底是单晶硅,在做扫描的时候是否需要喷金 已有2人参与

我是在单晶硅上镀一层氮化硅薄膜,想问问有没有做过类似材料的虫友,在做扫描的时候是否需要喷金??扫描样品对导电性要求怎么样?喷金的话会不会对表面形貌观察有影响?我的可能是纳米级的,比较小。。。小虾米,求助各位大神
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19911201

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by gaohui3333 at 2016-01-16 12:32:44
看电池片表面形貌不需要SEM

我做的不是电池

发自小木虫Android客户端
7楼2016-01-17 23:41:17
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查看全部 7 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

扫描??扫描电镜??
氮化硅膜多厚?
2楼2016-01-15 17:09:01
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andrewzhang

铁杆木虫 (著名写手)

超级无敌加菲

【答案】应助回帖

需要喷金的。硅片也不导电

发自小木虫Android客户端
3楼2016-01-15 17:11:38
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andrewzhang

铁杆木虫 (著名写手)

超级无敌加菲

【答案】应助回帖

喷出的金颗粒大约5纳米左右,一般不会影响你的样品形貌

发自小木虫Android客户端
4楼2016-01-15 17:12:22
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