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xiaoping_007

银虫 (初入文坛)

[求助] 类金刚石薄膜 已有1人参与

PVD沉积类金刚是薄膜，得到的薄膜表面颜色不均一如附图所示，请教各位大神这种薄膜缺陷是什么原因造成。
使用离子源在TiC过渡层上沉积的类金刚石膜！各位大神提供指导意见，不胜感激.

类金刚石薄膜
dlc.jpg
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薄膜制备与特性

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1楼 2016-01-08 15:40:17
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刘沐cs

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

表面有空洞、不均匀，一般PVD方法制备的薄膜都有这种缺陷，你可以调下参数，使得薄膜表面更凭证，功率啊、温度啊、气压啊，都有影响
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2楼2016-03-28 20:45:43
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